超硬材やチタン等の難削材の切削加工や超精密微細加工

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加工事例

半導体検査装置部品(チップステージ)

加工のポイント

ステージ面の面粗度に精度が要求された製品。
鏡面仕上げで対応し、位置精度100分台以下を実現した。

スペック情報

材質

SKD11(HRC60)

寸法・精度

・240mm×90mm
・位置精度0.01以下

用途・産業

半導体検査装置

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