加工事例
半導体検査装置部品（ステージテーブル）
加工のポイント
平面研磨によってステージ面の平行度、平面度を100分台以下に仕上げた。
横幅400mmを超える大型の加工を要求精度を出しながら実現した。
スペック情報
- 材質
A7075（超々ジュラルミン）
- 寸法・精度
事例①：
580mm×460mm、平行度・平面度0.01事例②：
420mm×320mm、平行度・平面度0.01- 用途・産業
半導体検査装置
超硬材やチタン等の難削材の切削加工や超精密微細加工
超硬材やチタン等の難削材の切削加工や超精密微細加工
平面研磨によってステージ面の平行度、平面度を100分台以下に仕上げた。
横幅400mmを超える大型の加工を要求精度を出しながら実現した。
A7075（超々ジュラルミン）
事例①：
580mm×460mm、平行度・平面度0.01
事例②：
420mm×320mm、平行度・平面度0.01
半導体検査装置
