加工事例
半導体検査装置部品(ステージテーブル)
加工のポイント
平面研磨によってステージ面の平行度、平面度を100分台以下に仕上げた。
横幅400mmを超える大型の加工を要求精度を出しながら実現した。
スペック情報
- 材質
A7075(超々ジュラルミン)
- 寸法・精度
事例①:
580mm×460mm、平行度・平面度0.01事例②:
420mm×320mm、平行度・平面度0.01- 用途・産業
半導体検査装置
平面研磨によってステージ面の平行度、平面度を100分台以下に仕上げた。
横幅400mmを超える大型の加工を要求精度を出しながら実現した。
A7075(超々ジュラルミン)
事例①:
580mm×460mm、平行度・平面度0.01
事例②:
420mm×320mm、平行度・平面度0.01
半導体検査装置